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Stage & Detectors

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SGO Series

Details & Spec

SmarAct Goniometer는 피에조 드라이브 기술을 기반으로 만들어 졌습니다. 고객 분들의 다양한 선택을 위해서 다양한 곡률반경을 갖고 있는 SGO 시리즈는 매우 견고하게 제작되어 Nano/ Micro positioning 작업에 적합합니다. 내부에 장착된 십자롤러 베어링은 이 제품의 높은 회전 Accuracy를 가능하게 합니다. 또한 높은 분해능으로 움직이며 제품을 직접 쌓아서 결합할 수도 있습니다. 적절한 곡률반경을 가진 두 개의 Goniometer를 결합하여 공통의 회전중심을 갖는 컴팩트한 Euler goniometer 를 만들 수 있습니다.

 

  SmarAct goniometer는 SmarAct의 어떠한 컨트롤 유닛으로도 작동시킬 수 있고 Positioning sensor를 장착하여 사용할 수도 있습니다. 또한 SGO 시리즈는 고진공 (HV)이나 초고진공 (UHV) 같은 다양한 환경에서도 사용하실 수 있습니다.

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